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無(wú)錫高純度氣體:氣體工業(yè)名詞,通常指利用現(xiàn)代提純技術(shù)能達(dá)到的某個(gè)等級(jí)純度的氣體。高純氣體對(duì)于不同類別的氣體,純度指標(biāo)不同,例如對(duì)于氮,氫,氬,氦而言,通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體;而對(duì)于氧氣,純度為99.99%即可稱高純氧;對(duì)于碳?xì)浠衔?,純度?9.99%的即可認(rèn)為是高純氣體。高純氣體應(yīng)用領(lǐng)域極寬,在半導(dǎo)體工業(yè),高純氮、氫、氬、氦可作為運(yùn)載氣和保護(hù)氣;高純氣體可作為配制混合氣的底氣。高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體,和無(wú)機(jī)高純氣體。
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