無錫高純度氣體供應(yīng)系統(tǒng)閥門及管路連接方式

發(fā)布時(shí)間: 2019-10-23 07:54:12

新聞來源: 無錫久安化工有限公司

無錫高純度氣體供應(yīng)系統(tǒng)閥門及管路連接方式

一、高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)目前主要有三種形式

1. 現(xiàn)場(chǎng)制氣,管道輸送供氣;

2.外購液態(tài)氣體,氣化后管道輸送供氣;

3.外購氣體鋼瓶,用氣體鋼瓶(組)供氣。某個(gè)工程,采用何種方式 ,主要根據(jù)工廠的生產(chǎn)規(guī)模及氣體耗量、用氣質(zhì)量,以及工廠所在城市或區(qū)域的氣體市場(chǎng)供應(yīng)等因素經(jīng)過技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定。

高純氣體管道安全閥

安全閥是啟閉件受外力作用下處于常閉狀態(tài),當(dāng)設(shè)備或管道內(nèi)的介質(zhì)壓力升高超過規(guī)定值時(shí),通過向系統(tǒng)外排放介質(zhì)來防止管道或設(shè)備內(nèi)介質(zhì)壓力超過規(guī)定數(shù)值的特殊閥門。安全閥屬于自動(dòng)閥類,主要用于鍋爐、壓力容器和管道上,控制壓力不超過規(guī)定值,對(duì)人身安全和設(shè)備運(yùn)行起重要保護(hù)作用,注安全閥必須經(jīng)過壓力試驗(yàn)才能使用。

高純氣體管道閥門連接

高純氣體管道與閥門等附件連接應(yīng)采用密封不易泄漏的專用接頭予以連接,常用的接頭方式有兩種:分別為VCR(Vacuum Coupling Retainer)和SWG(Swaglok),VCR采用優(yōu)良的金屬墊,利用縱向壓力壓緊,因此泄漏率極低,約為10~9A cc/s,且耐壓較高,常用于氣體雜質(zhì)含量1.0×10-9級(jí)的高純氣輸送系統(tǒng),而SWG則不如VCR,耐壓較低,基本上這兩種接頭方式的安全性足可代替焊接的方式。


高純氣體管路連接

法蘭連接

管道與設(shè)備、管道與閥門的連接,在一些要求不高的氣體管道可以采用法蘭連接,墊片使用軟金屬墊片或聚四氟乙烯墊片。 由于石棉會(huì)產(chǎn)生粉塵而橡膠的透氣性大和吸水性強(qiáng)而且容易老化, 所以不采用石棉墊片或橡膠整片。

氣體管路連接

表面密封連接件連接

法蘭連接時(shí)氣體和密封材料接 觸面大 ,表面磨損也較大, 所以對(duì)于高純氣體管道不采用法蘭連接。大多采用表面密封連接件,絕大多數(shù)采用 V CR 密封件形式。V C R 連接方式氣體不接觸 密封材料, 流通表面幾乎沒有磨損 ,它是縱 向壓力進(jìn)行壓緊,選用質(zhì)量?jī)?yōu) 良的金屬墊 ,便可以做到很好的密封不泄露、污染少 ,因此得到廣泛采用。 選用時(shí)做到連接件材料與主管材料一致 ,內(nèi)表面光潔等級(jí)一致。

螺紋連接

螺紋連接對(duì)大宗氣體,且純度要求不高的氣體管道,當(dāng)采用鍍鋅鋼管時(shí) ,采用螺紋連接。 螺紋連接的密封材 料采用聚四氟乙烯密封帶 ,不得采用傳統(tǒng)的油麻。密封帶纏繞要得當(dāng)。不能纏繞的太厚、過長(zhǎng),纏繞太厚或纏繞過多超出管螺紋端頭坡 口的話,在螺紋旋緊時(shí),密封帶會(huì)被絲咬切下,落人管道內(nèi)形成較大的污染物,因此端口螺紋從坡口始,留出2- 3 個(gè)凸牙不纏繞密封帶是必要的。

焊接連接管道焊接連接,可以采用對(duì)接焊 、承插焊或套管式接。

對(duì)接焊

對(duì)于要求純度很高的管道,采用內(nèi)壁無瘢痕的對(duì)接焊 。高純氬氣保護(hù)焊。

承插焊

對(duì)于純度要求相對(duì)低一些的管道可以采用承插焊或套管焊,承插焊由于氣體殘留空間比較大 。

套管焊接

吹凈比較困難 ,現(xiàn)在比較多的采用套管焊接。 套管焊接應(yīng)使套管和主管具有同等材料和內(nèi)表面等級(jí), 結(jié)合部的間隙不能過大,重疊部分也不宜過長(zhǎng),較為合適的重疊長(zhǎng)度在 5m m 內(nèi)。 套管內(nèi)管加工時(shí),應(yīng)使主管過盈 ,這樣主管被套管緊緊包裹后施焊,焊渣不會(huì)落人管內(nèi)。而且氣體死空間也小,容易吹凈 。

高純氣體供應(yīng)系統(tǒng)

使用的氣瓶和備用氣瓶之間有一個(gè)半自動(dòng)調(diào)節(jié)閥來控制。所有氣體管路都是高質(zhì)量的、完全退火、無縫不銹鋼SS-316L。所有氧氣管路都需完全清理干凈,使其適合氧氣使用。氣體管路需要有安全壓力釋放閥門、壓力調(diào)節(jié)閥門、壓力表來指示氣體壓力。

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